因为压缩空气会蔡司三坐标测量机的正常运行起着相当重要的效果，所以对气路的维修和保养相当重要；德国蔡司授权蔡司三坐标代理商-半岛平台精密总结出一下几点重要步骤：
　　1、每一天使用三坐标测量机前检验管道和过滤器，把过滤器和空压机或者储气罐中的水和油放掉。
　　2、普通3 个月要擦洗随机过滤器和前置过滤器的滤芯。周围空气越不好，擦洗周期就要越短。因为过滤器的滤芯在过滤油和水的同时自身也被油污染阻塞，时辰稍长就会使测量机实际工作气压降低，影响测量机正常运行。必须要定期擦洗过滤器滤芯。
　　3、每一天都要擦拭导轨油污和尘土，维持气浮导轨的正常运行状态。
　　4、对蔡司三坐标测量机导轨的防护
　　测量机的导轨是蔡司三坐标测量机的基准，唯有保养好气浮块和导轨才能保障测量机的正常运行。测量机导轨的保养除去要经经常用酒精和脱脂棉擦拭外，还要注意不要直观在导轨上摆放零配件和工具。特别是花岗石导轨，因其质地比较脆，所有小的磕碰会导致碰伤，若是未抓紧时间发现，碎渣就会伤害气浮块和导轨。要养成优良的工作习惯，用布或胶皮垫在下边，保障导轨安全。工作结束后或上零配件结束后要擦拭导轨。
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